pfeiffer德国普发镀膜机(classic)

伯东公司德国普发pfeiffer镀膜机-灵活设计适合技术研究、开发和生产,可实现高真空蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,离子镀.Pfeiffer Classic 系列镀膜机（高真空镀膜系统）经过大量实验和技术知识积累研发设计,通过ISO 9001认证, ISO 14001认证,低能耗
主要应用领域: 半导体,光学,微电子学,显示屏,光电工程,表面处理等行业.

Pfeiffer镀膜机主要型号包含:
Pfeiffer Classic 250镀膜机(科研,小型研发)
Pfeiffer Classic 500镀膜机(科研,小规模生产)
Pfeiffer Classic 570镀膜机(批量生产)
Pfeiffer Classic 580镀膜机(生产线大批量生产)
Pfeiffer Classic 590镀膜机(高吞吐量,通用的制造系统,满足**高工业需求)
Pfeiffer Classic 620镀膜机(**大吞吐量)

pfeiffer镀膜机主要优势:

可搭配多种泵组(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵)
pfeiffer镀膜机真空腔体可冷却可加热,极限真空度**高可达 < 5 · 10-7 mbar,腔体漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
真空腔体大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
镀膜机各种尺寸大小,根据实际应用和气体吞吐量决定
内置各种标准配件,坚固耐用满足严苛工业环境
低运营成本,易维护,兼容洁净室
通过附加配件升级镀膜机功能
pfeiffer镀膜机所有真空腔体均是不锈钢材质
通过ISO 9001认证, ISO 14001认证,低能耗

pfeiffer镀膜机工艺:


pfeiffer镀膜机蒸镀过程优势:

抗反射涂层
耐划伤性涂料
激光面镜
接触金属化
合金的沉积(Co-evaporation)

pfeiffer镀膜机磁控溅射介绍:

除了高真空蒸镀系统，伯东公司德国普发pfeiffer 也提供磁控溅射腔体可选load-lock.相应型号Classic 250 to 570,有标准版本供选择或根据溅射过程选择(SP)定制版本
可用于：
金属层(金、铜、铝、铬、…)
电介质层(二氧化硅,氧化铝,…)
透明导电层(ITO
磁层
合金的沉积(co-sputtering)

伯东公司 pfeiffer镀膜机客户现场图片:








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