供应 SC100-SR分体型匀胶机
所在区域:北京 北京市 丰台区
更新时间:2016-07-22
有效期:长期有效
SC100-SR分体型匀胶机 甩胶机 旋转涂膜仪 匀膜机的详细描述: SC100的分体式。
特点:(1)主机更小尺寸,可轻松放置于手套箱内操作。
(2)更方便嵌入工作台面以下,降低操作高度。
(3)控制盒可远离主机,使用更方便。
特性优点:**新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。机身选用耐酸、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
主要性能指标:主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)旋涂程序:**多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒转动速度:0-10,000rpm(可选更高速)旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec支持wafer尺寸1cm-200mm旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)设备尺寸 32cm W × 32cm D × 30cm H
信息编号:b0735375 【在线洽谈】
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