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供应 净化工程方案

所在区域:广东 深圳市 深圳市区
更新时间:2013-06-22
有效期:长期有效
供应净化工程整体解决方案,福永净化车间及深圳净化工程
净化工程是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污 染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在 空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
作用
  控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
编辑本段
分类
乱流式 (Turbulent Flow)
  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板
  乱流式
回 风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。   优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。   缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
层流式(Laminar)
   层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使 用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:   (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。   优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。   缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。   (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影 响其它工作区域。   优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
  乱流式
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type):
   复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。   (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之 工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。   洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。   (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁 净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。   (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、 洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
局部洁净工程
  洁净工作台:等级Class 1~100级。   洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其 等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
编辑本段
空气洁净度等级标准及规范
   经济和科技发达的**和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁 布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施 工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。   GBJ73-84规定的洁净度等级   
等级 每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
100 《35*100(〈3.5〉
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉
 美国联邦标准FS209E中的洁净等级
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净化工程方案
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