供应 小流量质量流量计

1、 特点及应用领域 质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。 DY50系列质量流量控制器和质量流量计特点： *采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等 *适用于各种腐蚀性气体 *气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降 *工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。 *操作使用方便，可任意位置安装 *便于与计算机连接实现自动控制。 DY50系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： *半导体制造行业的气体流量控制 *分析仪器设备的气体计量与控制 *各种形式的真空镀膜设备 *环境检测与分析设备 *化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 *特种材料表面处理装置与燃烧控制 *混气配气系统和泄漏探测系统等 2.主要技术指标： 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为: 标准状态 ml/min(SCCM) 　　　　　　　　　　　标准状态l/min(SLM) 标准状态规定为: 温度 - 0℃ 气压 — 101325 Pa F.S (Full Scale): 表示满量程值 表1 DY50MT型﹑DY50MT型质量流量控制器技术指标 编号 项 目 DY50MT DY50MMT 1 流量规格 ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) ml/min ( 0～1,2,3,5,10,15,20,30) l/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1.0% F.S （5ml/min～10l/min） ± 2.0% F.S 5 线性 ±1.0 % F.S，±1.5 % F.S 6 重复精度 ±0.2 %F.S 7 响应时间 (1 ～ 10) s 8 工作压差范围 (0.05 ～ 0.4) MPa (10～30)l (0.1～0.4) MPa 9 耐压 3 MPa ﹑ 10 MPa 10 工作环境温度 5℃ ～ 45℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®﹑EPDM, 或其他 13 漏率 ﹤2×10-9m1/s He 14 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 15 输入输出信号 0 V ～ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) 16 电源 +15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸 mm 134×13134×134×384×38 18 重量 kg 1.2 表2. DY50AMT、DY50BMMT型质量流量计技术指标 编号 项 目 DY50AMT DY50BMMT 1 流量规格 ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) ml/min ( 0～1,2,3,5,10,15,20,30) l/min 2 准确度 ±1.0% F.S ±2.0% F.S 3 线性 ±1.0 % F.S，±1.5 % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S 5 响应时间 (1～4)s 6 气压降 <0.01 MPa 7 耐压 3 MPa﹑ 10 MPa 8 工作环境温度 5 ℃ ～ 45 ℃ 9 材料 不锈钢316L 10 标准密封材料 Viton®﹑EPDM, 或其他 11 漏率 ﹤2×10-9m1/s He 12 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 13 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA 14 外形尺寸 mm 134×134×38 15 重量 kg 1.0 注意： DY50系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制 3.工作原理： 质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。 流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比，满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。质量流量控制器的流量控制范围是(5～100)%F.S（量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S。 控制操作一般在MT-50A系列流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户提供的外部0V～+5V电压控制流量。 在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到**大，以便气路清洗，或作为流量计使用。在做流量计使用时，流量检测电压的输出值**大可能达到+10V以上，不过要注意，当流量超过满量程（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。