美国质量流量计(美国AALBORG质量流量计)

所在地域：广西南宁市南宁市区

更新时间：2011-04-11

参考价格：面议

品牌：美国AALBORG质量流量计

规格/型号：美国AALBORG质量流量计

美国AALBORG质量流量计

Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产
厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领
域。产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总
量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、
表面处理等镀膜工艺。设计特点：－刚性金属结构－流程范围从0开始到10
sccm直到0到1000slpm －**大压力500psig（34.5Bar）－泄漏率1＊10-7氦
气－NIST系统标定可追踪的证明－可倾斜的LCD读表－0-5Vdc或4-20m
A信号输出－电路保护－可用作便携式的设备－0到100％比例显示－可
配备流量计算机精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（1
5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（
标定精度），在给定的温度与压力值条件下。重复性：±0.5％满量
程回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒温度系数：
0.15％满量程／℃ 压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）气体
／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）输出信号：0-5Vdc，**小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻传感器输出：＋12Vdc；
**大200Ω。