阿瑞斯micro;VOC空气分子污染物监测系统(阿瑞斯)

阿瑞斯-µVOC空气分子污染物监测系统

高达16通道的低于ppb级浓度有机物监测

连续监测@ sub ppb级

醋酸、草酸 、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、邻苯二甲酸二辛酯（DOP）、邻苯二甲酸二丁酯（DBP）、邻苯二甲酸二乙酯（DEP）、异丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物

空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。

检测限达到sub-ppb级

洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。

空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工

随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。

污染物从加工到超净间的扩散，并且成份的增加，分子污染物来自多个源头，比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。

µ-VOC  系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联，完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量，提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。

亮点

一般特点

在线连续质量监测全部自动化系统

低浓度VOC监测

独立分开测量有机物成份

Sub-ppb检测限

集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

应用

洁净间污染物监测

过滤器状态监测

加工过程全组份测量诊断污染物

通过成份形成跟踪污染物源头

许多生产过程化学药剂成为污染物的源头，NH3因光刻工艺过程而**为著名。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3，等等很多类似的化学药剂的分解与释放，都造成AMC的增加。而实时迅速测量这些成份浓度的µ-VOC 系统可以跟踪污染物形成的时间和路线。

工作原理

GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。

当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。

特性:

工作原理：

测量量程:

准确度：

尺寸 (HxWxD)

防护等级

工作温度:

通讯:

电源:

供气要求:

采样通道:

分辨率:

测量组份:GC-FID

0-200 ppb

2%

160 cm x 60 cm x 80 cm

Nema 12 或IP54不锈钢外壳

10°C—35 °C

RS-232, Ethernet, ODBC

230 Vac, 50/60 Hz 900W

CDA 5 l/min H2 130 sccm (可选H2发生器)

高达16

0,1 ppb

高达30, 客户可定制

可测组份2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

异丙醇 （CH3）2CHOH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

环己胺 C6H11NH2

环聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n

对二氯苯 ClC6H4Cl

邻苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2

邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

十甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5

二甲苯 (CH3)2C6H4

三甲基硅醇 C3H10OSi （t-乙酸丁脂）二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3

二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH

邻苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2

邻苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2

邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2

三乙胺（C2H5）3N

邻苯二甲酸二环己酯 C6H4(C=OOC6H11)2

磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O

十二甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6

三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O

------等等