晶圆芯片450度真空充氮烘箱10pa以下硅晶片真空高温烘箱(VOD-90)

晶圆芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高温烘箱

VOD-90

一、产品名称及型号：

1.1产品名称：真空高温干燥箱  

1.2产品型号：VOD-90

二、主要技术指标：

2.1 电源：AC380V 3φ 50HZ

2.2 规格尺寸，功率：

 

 型号

 

 

 工作尺寸（mm）

 

 

 外形尺寸（mm）

 

 

 功率

 

 

 VOD-90

 

 

 W450×D450×H450

 

 

 W800×D800×H1715

 

 

 12Kw

 

2.3 升温、降温速率要求:

**大升温速率: ≥4 ℃/minute

**小升温速率: 2 ℃/minute

**小降温速率: 2 ℃/minute

**大降温速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

常用温度: 350℃

**高温度：450℃

三、箱体结构：

外壁材料： 冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤;                                  

内胆材料： 5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光;                                                  

保温材料：厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好;

门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

四、真空度：

真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

真空度: ≤10 pa;                                                        

五、加热系统：

  加热元件：四面辐射加热;                                              

六、电器系统：

 系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停；                      

 温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器                                                                

七、安全保护：

加热电流过流、

系统短路保护;

电压过压保护;

真空泵过负载、

缺相保护;

电炉超温报警等功能。