400℃晶圆片真空烘箱快速升降温高温真空充氮烘箱(VOD-216)

400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱

本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。

 

 型号

 

 

 VOD-90

 

 

 VOD-210

 

 

 VOD-216

 

 

 真空度

 

 

 ≤10 pa

 

 

 电源

 

 

 AC380V 3φ 50HZ

 

 

 功率（KW）

 

 

 12

 

 

 18

 

 

 20

 

 

 工作环境温度

 

 

 

 

 

 性能

 

 

 温度范围

 

 

 RT+10℃～450℃

 

 

 升温时间

 

 

 2 ℃/minute～4 ℃/minute

 

 

 降温时间

 

 

 2 ℃/minute～4 ℃/minute

 (400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

 

 

 结构

 

 

 外壳

 

 

 冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤

 

 

 内胆

 

 

 5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光

 

 

 保温材料

 

 

 厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好

 

 

 箱门

 

 

 真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

 

 

 真空泵

 

 

 LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

 

 

 加热系统

 

 

 四面辐射加热

 

 

 电器系统

 

 

 系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停；  

 

 

 温控输出

 

 

 SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器  

 

 

 安全保护

 

 

 加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、

 缺相保护、电炉超温报警等功能

 

 

 内容积（L））

 

 

 91

 

 

 215

 

 

 252

 

 

 内部尺寸（㎜）

 

 

 W450×D450×H450

 

 

 W560×D640×H600

 

 

 W700×D600×H600

 

 

 外部尺寸（㎜）

 

 

 W800×D800×H1715

 

 

 W910×D990×H1865

 

 

 W1050×D950×H1865