供应 AALBORG气体质量流量计

AALBORG气体质量流量计

美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构 
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm 
－**大压力500psig（34.5Bar） 
－泄漏率1＊10-7氦气 
－NIST系统标定可追踪的证明 
－可倾斜的LCD读表 
－0-5Vdc或4-20mA信号输出 
－电路保护 
－可用作便携式的设备 
－0到100％比例显示 
－可配备流量计算机 

精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。